硅拋光片
硅拋光片規格
| 厚度（μm） | 總厚度變化（μm） | 平整度（μm） | 彎曲度（μm） | 翹曲度（μm） | 顆粒度LLS(ea） | ||
| 區熔單晶硅拋光片 | 單面拋光片 | 150-1500 | ≤5 | ≤5 | ≤20 | ≤20 | <10@0.3μm |
| 雙面拋光片 | 150-1500 | ≤5 | ≤5 | ≤20 | ≤20 | <10@0.3μm | |
| 直拉單晶硅拋光片 | 單面拋光片 | 150-1500 | ≤5 | ≤5 | ≤20 | ≤20 | <10@0.3μm |
| 雙面拋光片 | 150-1500 | ≤5 | ≤5 | ≤20 | ≤20 | <10@0.3μm | |
注：如果幾何參數有特殊要求，可以根據客戶的要求制定。
上一個：
?直拉硅單晶
下一個：
硅光學產品（硅透鏡、硅反射鏡）
